CVD系列真空電阻式氣相沉積爐

所屬類別 : 特種爐型

產品編號 : T-002 

產品名稱 : CVD系列真空電阻式氣相沉積爐  

裝料方式 : 立式

  • 產品詳情

產品描述  化學氣相沉積爐是用采用石墨加熱,用石墨軟氈、不銹鋼框架組合隔熱屏隔熱的單室立、臥式真空爐?;喑粱饕糜諤疾牧系鈉嘀旅芑?。

 

主要技術指標

型號

有效區尺寸 (mm)

裝爐量 (kg)

加熱功率 (kw)

最高溫度 ()

溫度均勻性 ()

極限真空度 (Pa)

壓升率 (Pa/h)

氣冷壓強 (bar)

CVD251212

2500x1200x1200

1500

650

1500

5

10

0.05

/

CVD401515

4000x1500x1500

6000

650

1300

10

10

0.05

/

CVD181828

1800x1800x2800

800

810

1500

10

30

0.08

/

注:個別指標可以根據客戶需求訂制。

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